SMC真空過濾器50-VFE3130-5T-02
真空發生器的排氣口、真空閥的吸氣（或排氣口）和真空泵的排氣口也都應裝上，
這不僅降低噪聲而且能起過濾作用，以提高真空系統工作的可靠性。
對真空過濾器的要求是，濾芯污染程度的確認簡單，
清掃污染物容易，結構緊湊，不致使真空到達時間增長。
在安裝SMC真空過濾器時，注意進出口不得裝反。
配管處不得有泄露。維修時，密封件不得損傷。
過濾SMC真空器進口壓力不要超過0.5MPa，
ZFA100-01L ZFB100-06
ZFB301-11 ZFC101-03B
ZFA200-02 ZFB101-07
ZFB401-13 ZFC101-07B
ZFA200-02L ZFB200-06
ZFC100-04B ZFC200-06B

這點可通過調節減壓閥和節流閥來保證。
真空過濾器的流速不大，空氣中的水分不會凝結，故改過濾器無需分水功能，
不要用AF系列過濾器取代ZF系列過濾器，避免變差。
SMC真空過濾器的種類
SMC真空過濾器有三個系列：ZFA、ZFB、ZFC。
這三種系列的真空過濾器結構原理圖分別如下。
SMC ZFA系列真空過濾器是箱式結構，便于集成化。
濾芯呈疊褶形狀，故過濾面積大，可通過流量大，周期長。
SMC ZFB系列真空過濾器是管式連接。
由于了萬向接頭，配管可在360°范圍內自由安裝。
快換接頭，裝卸配管迅速。
SMC ZFC系列真空過濾器是小型直通式（進出口在一條線上）快換接頭連接，
不需工具便可更換濾芯。當過濾器兩端壓降大于0.02MPa時，濾芯應拆下清洗或更換。
SMC真空過濾器50-VFE3130-5T-02